所有條件下的壓力控制

61.3控制蝶閥具有的壓力控制性能。憑借其快速精確的動(dòng)作控制器（0.1?s） 它是CVD和ALD工藝中精細(xì)控制的解決方案。該板起到節(jié)流元件的作用，并改變閥門(mén)開(kāi)口的傳導(dǎo)率。61.3的集成壓力控制器計(jì)算所需的板位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定壓力。

它特別適用于氣流中有顆粒的苛刻下游工藝。61.3保持運(yùn)行，盡管按照設(shè)計(jì)顆粒載荷和碎片堆積很高。

61.3系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個(gè)苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性。61.3系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)，以及減少和易于維護(hù)，在各個(gè)方面都令人信服。

車(chē)身材料、表面等多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)

61.3控制蝶閥有鋁或不銹鋼兩種材質(zhì)，帶ISO-KF和ISO-F標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器。可集成客戶(hù)專(zhuān)用法蘭以及帶絕緣的集成加熱器等特殊功能。可根據(jù)要求提供各種FFKM/FKM彈性體（FKM為標(biāo)準(zhǔn)）。

61.3控制蝶閥的主要特點(diǎn)

特征：

出色的壓力控制

操作非常快

用于本地操作的車(chē)載軟件

在苛刻的工藝條件下可靠運(yùn)行

優(yōu)點(diǎn)：

更好的過(guò)程可控性

高正常運(yùn)行時(shí)間/不受限制的性能

運(yùn)營(yíng)成本低

高溫高壓過(guò)程中可靠的壓力控制和隔離

62.0角度控制閥系列是具有高壓和/或高溫環(huán)境（如ALD或CVD）的真空工藝的理想選擇。最高工作溫度為200?°C的62.0提供了異常精確的壓力控制性能。由于其電動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器，打開(kāi)和關(guān)閉循環(huán)可以以非常平穩(wěn)和精細(xì)的控制以低的最小電導(dǎo)進(jìn)行操作。集成的軟泵控制功能通過(guò)避免與大多數(shù)傳統(tǒng)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器相關(guān)的壓力峰值來(lái)增加這一點(diǎn)。